О термической стабильности тонких пленок золота, полученных методом вакуумного осаждения

Авторы

  • Мария Андреевна Губина Пермская научно-производственная приборостроительная компания
  • Александр Михайлович Минкин Пермская научно-производственная приборостроительная компания
  • Наталья Александровна Медведева Пермский государственный национальный исследовательский университет

DOI:

https://doi.org/10.17072/2223-1838-2024-4-153-160

Ключевые слова:

тонкие пленки, пленки золота, вакуумное осаждение, рекристаллизация, постотжиг

Аннотация

В статье представлены результаты исследования влияния температуры отжига на состояние микроструктуры тонких пленок золота, нанесенного на поверхность чувствительного элемента (маятника) Q-flex акселерометра, полученных методом вакуумного осаждения. Установлено, что качество подготовки поверхности подложки перед осаждением пленок золота может оказывать влияние на эволюцию микроструктуры пленок при их постотжиге.

Загрузки

Опубликован

2025-03-07

Как цитировать

Губина, М. А., Минкин, А. М., & Медведева, Н. А. (2025). О термической стабильности тонких пленок золота, полученных методом вакуумного осаждения. Вестник Пермского университета. Серия «Химия», 14(4). https://doi.org/10.17072/2223-1838-2024-4-153-160

Выпуск

Том 14 № 4 (2024)

Раздел

Физическая химия и электрохимия

Наиболее читаемые статьи этого автора (авторов)