Влияние плазменной обработки поверхности кристаллов ниобата лития на процесс протонного обмена в расплавах бензойной кислоты
DOI:
https://doi.org/10.17072/2223-1838-2019-4-371-379Abstract
Обработка поверхности ниобата лития Ar-плазмой приводит к повышению дефектности поверхностного слоя. Это, в свою очередь, влияет на процесс протонного обмена, вызывая образование обогащенных протонами фаз твердого раствора Li1-xHxNbO3 (Х-срез), увеличение внутренних напряжений в этих фазах и даже локальное растворение поверхности в тех местах, где концентрация протонов в поверхностных слоях максимальна. В то же время, плазменная обработка поверхности Z-среза кристалла ниобата лития оказывает меньшее влияние на процесс протонного обмена, поскольку образующиеся протонообменные фазы характеризуются меньшими напряжениями.References
Jackel J., Rice C.E., Veselka J.J. Proton exchange for high-index waveguides in LiNbO3 // Appl. Phys. Lett. 1982. Vol.41. no 7. P.607-608.
Cargo J.T., Filo A.J., Hughes M.C., Kannan V.C., Stevie F.A., Taylor J.A. Characterization of sulfuric acid proton-exchanged lithium niobate // J. Appl. Phys. 1990. Vol.67. P. 627-633.
De Micheli M., Botineau J., Neveu S., Sibillot P., Ostrowsky D.B., Papuchon M. Independent control of index and profiles in proton-exchanged lithium niobate guides // Optics Letters. 1983. Vol. 8. no 2. P.114-115.
Sosunov A.V., Ponomarev R.S., Mushinsky S.S. et al.. Influence of lithium niobate sublayer structure to refractive index of optical waveguides // Ferroelectrics. 2016. Vol. 494. P.131-1374.
Ponomarev R.S., Shevtsov D.I., Karnaushkin P.V. “Shutdown” of the proton exchange channel waveguide in the phase modulator under the influence of the pyroelectric effect // Appl. Sci. 2019. Vol. 9 P. 4585.
Колосовский Е.А., Петров Д.В., Царев А.В. Численный метод восстановления профиля показателя преломления в диффузионных волноводных слоях // Ж. квант. электрон. 1981. Т. 8. № 12. С. 2557–2568.
Mushinsky S.S., Kichigin V.I., Petukhov I.V. et al. Structure and properties of proton exchanged layers in +Z cut and – Z cut lithium niobate // Ferroelectrics. 2013. Vol.443. P. 20-34.
Mushinsky S.S, Minkin A.M., Kichigin V.I. et al. Effect on Proton Exchange of X-cut Lithium Niobate in the Melt of Benzoic Acid // Ferroelectrics. 2015. Vol. 476. P. 84-93.
Korkishko Yu.N., Fedorov V.A. Structural phase diagram of HxLi1-xNbO3 waveguides: the correlation between optical and structural properties // IEEE J. Select. Top. Quant. Electron. 1996. Vol. 2. № 2. Р. 187–196.
Mushinsky S.S., Petukhov I.V, Permyakova M.A. et al. Structural phase transitions during annealing of proton-exchanged layers in X-cut and Z-cut lithium niobite // Ferroelectrics. 2019. Vol. 508. P. 40–48.
