Features of the formation of aluminum thin films under the influence of ultrasonic vibrations of the substrate

Authors

  • Arthur E. Urazbekov Tomsk State University of Control Systems and Radioelectronics
  • Yury V. Sakharov Tomsk State University of Control Systems and Radioelectronics

DOI:

https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-3-05-08

Abstract

Atomic force and scanning electron microscopy methods were used to study aluminum thin films grown on sitallic substrates. This study is the first to show that ultrasonic vibrations of the substrate during deposition stimulate the formation of islands on the film surface. However, the average height and lateral dimensions of the islands are not significantly affected by ultrasonic perturbations of the substrate.

Downloads

Published

2023-11-09

How to Cite

Urazbekov А., & Sakharov Ю. (2023). Features of the formation of aluminum thin films under the influence of ultrasonic vibrations of the substrate. Bulletin of Perm University. Physics, (3), 05–08. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-3-05-08

Issue

No. 3 (2023)

Section

Rapid Communications

License

Copyright (c) 2023 Bulletin of Perm University. Physics

Creative Commons License

This work is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.

Автор предоставляет Издателю журнала (Пермский государственный национальный исследовательский университет) право на использование его статьи в составе журнала, а также на включение текста аннотации, полного текста статьи и информации об авторах в систему «Российский индекс научного цитирования» (РИНЦ).

Автор даёт своё согласие на обработку персональных данных.

Право использования журнала в целом в соответствии с п. 7 ст. 1260 ГК РФ принадлежит Издателю журнала и действует бессрочно на территории Российской Федерации и за её пределами.

Авторское вознаграждение за предоставление автором Издателю указанных выше прав не выплачивается.

Автор включённой в журнал статьи сохраняет исключительное право на неё независимо от права Издателя на использование журнала в целом.

Направление автором статьи в журнал означает его согласие на использование статьи Издателем на указанных выше условиях, на включение статьи в систему РИНЦ, и свидетельствует, что он осведомлён об условиях её использования. В качестве такого согласия рассматривается также направляемая в редакцию справка об авторе, в том числе по электронной почте.

Редакция размещает полный текст статьи на сайте Пермского государственного национального исследовательского университета: http://www.psu.ru и в системе OJS на сайте http://press.psu.ru

Плата за публикацию рукописей не взимается. Гонорар за публикации не выплачивается. Авторский экземпляр высылается автору по указанному им адресу.