Особенности формирования тонких пленок алюминия под воздействием ультразвуковых колебаний подложки

Авторы

  • Артур Еркынович Уразбеков Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
  • Юрий Владимирович Сахаров Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

DOI:

https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-3-05-08

Аннотация

С применением методов атомно-силовой и растровой электронной микроскопии исследованы тонкие пленки алюминия, выращенные на ситалловых подложках. Впервые показано, что ультразвуковые колебания подложки во время осаждения стимулируют формирование островков на поверхности пленки. Однако на среднюю высоту и латеральные размеры островков ультразвуковые возмущения подложки не оказывают существенного влияния.

Загрузки

Опубликован

2023-11-09

Как цитировать

Уразбеков, А., & Сахаров , Ю. (2023). Особенности формирования тонких пленок алюминия под воздействием ультразвуковых колебаний подложки. Вестник Пермского университета. Физика, (3), 05–08. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-3-05-08

Выпуск

№ 3 (2023)

Раздел

Краткие сообщения

Лицензия

Copyright (c) 2023 Вестник Пермского университета. Физика

Лицензия Creative Commons

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.

Автор предоставляет Издателю журнала (Пермский государственный национальный исследовательский университет) право на использование его статьи в составе журнала, а также на включение текста аннотации, полного текста статьи и информации об авторах в систему «Российский индекс научного цитирования» (РИНЦ).

Автор даёт своё согласие на обработку персональных данных.

Право использования журнала в целом в соответствии с п. 7 ст. 1260 ГК РФ принадлежит Издателю журнала и действует бессрочно на территории Российской Федерации и за её пределами.

Авторское вознаграждение за предоставление автором Издателю указанных выше прав не выплачивается.

Автор включённой в журнал статьи сохраняет исключительное право на неё независимо от права Издателя на использование журнала в целом.

Направление автором статьи в журнал означает его согласие на использование статьи Издателем на указанных выше условиях, на включение статьи в систему РИНЦ, и свидетельствует, что он осведомлён об условиях её использования. В качестве такого согласия рассматривается также направляемая в редакцию справка об авторе, в том числе по электронной почте.

Редакция размещает полный текст статьи на сайте Пермского государственного национального исследовательского университета: http://www.psu.ru и в системе OJS на сайте http://press.psu.ru

Плата за публикацию рукописей не взимается. Гонорар за публикации не выплачивается. Авторский экземпляр высылается автору по указанному им адресу.