Влияние неоднородности температурного поля на перенос паров кремния от зеркала расплава к изделию в ходе высокотемпературного силицирования

Аннотация

Рассматривается модифицированная физико-математическая модель высокотемпературного переноса паров кремния в разреженной несущей среде в условиях среднего вакуума от зеркала расплава до поверхности поглощающего образца пористой среды. В роли пористой среды выступает углеродное волокно искусственного происхождения. Ранее уже были изучены процессы переноса газообразного кремния от зеркала расплава к поверхности изделия в случае однородного распределения температуры в пространстве. Однако в реальном технологическом процессе в общем случае это условие не выполняется. Таким образом, возникает задача исследования влияния этого фактора на интенсивность массопереноса паров кремния в случае навязанного условиями эксперимента неоднородного распределения температуры. Показано, что физико-математическая модель переноса по-прежнему допускает описание процесса с помощью одного нелинейного дифференциального уравнения в частных производных для концентрации.