Салгаева, Ульяна, Пермский государственный национальный исследовательский университет, Российская Федерация
-
Вестник Пермского университета. Физика № 1 (2024) - Статьи
Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
Аннотация PDF