Оценка применимости кристаллов ниобата лития Z-среза с заданным распределением примесей для изготовления протонообменных волноводов
DOI:
https://doi.org/10.17072/1994-3598-2017-2-69-74Аннотация
Методами оптической, лазерной и электронной микроскопии проведен сравнительный анализ структурных особенностей приповерхностных слоёв монокристаллических пластин ниобата лития с заданным распределением примесей производства Кубанского госуниверситета и ниобата лития производства CrystalTechnology (США). Также методом модовой спектроскопии проведен сравнительный анализ характеристик (приращение показателя преломления и глубина) планарных протонообменных волноводов. Показано, что состояние приповерхностных слоёв исследуемых монокристаллических пластин ниобата лития с заданным распределением примесей по его длине существенно отличается от качества пластин производства CrystalTechnology. Исследуемые образцы ниобата лития с заданным распределением примесей по его длине содержат множество царапин и точек на поверхности, а также дефектный приповерхностный слой глубиной 15 мкм, что значительно уступает характеристикам образцов производства CrystalTechnology. Однако характеристики сформированных планарных протонообменных волноводов на кристаллах обоих производителей по своим значениям очень близки друг к другу, что говорит о возможности применения указанных кристаллов при производстве интегрально-оптических схем при повышении качества обработки поверхности кристалла.Библиографические ссылки
Arizmendi L. Photonic applications of lithium niobate crystals. Physica Status Solidi. 2004, vol. 201, no. 2, pp. 253-283. DOI: 10.1002/pssa.200303911
Kostricky С. М., Novomlincev А. В. Compositional heterogeneity of the surface damaged layers in single crystals LiNbO3. Solid state physics. 1996, vol. 38, no. 5, pp. 1614–1616.
Galinetto P., Marinone M., Grando D., Samoggia G., Caccavale F., Morbiato A., Musolino M. Micro-Raman analysis on LiNbO3 substrates and surfaces: Compositional homogeneity and effects of etching and polishing processes on structural properties. Optical Laser Engineering. 2007, vol. 45, pp. 380–384. DOI: 10.1016/j.optlaseng.2005.05.007
Caccavale F., Morbiato A., Properzi M., Galinetto P., Marinone M., Samoggia G. MicroRaman investigation of optical quality lithium niobate wafers. Proceedings SPIE, 2004, vol. 5451, pp. 67–73. DOI: 10.1117/12.545848
Sosunov A. V., Ponomarev R. S., Yuriev A. B., Volyntsev A. B. Effect of the structure and mechanical properties of the near-surface layer of lithium niobate single crystals on the manufacture of integrated optic circuits. Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing. 2017, vol. 53, no. 1, pp. 82–87. DOI: 10.3103/S8756699017010125
Méndez A., De La Paliza G., García-Cabañes A., Cabrera, J.M. Comparison of the electrooptic coefficient r33 in well-defined phases of proton exchanged LiNbO3 waveguides. Applied Physics B. 2001, vol. 73, pp. 485–488. DOI: 10.1007/s003400100711
Sosunov A. V., Ponomarev R. S., Mushinsky S. S., Minkin A. M., Volyntsev A. B. Influence of lithium niobate sublayer structure to refractive index of optical waveguides. Ferroelectrics. 2016, vol. 494 (1), pp. 131–137. DOI: 10.1080/00150193.2016.1142333
Salgaeva U. O., Mushinsky S. S., Volyntsev A. B., Azanova I. S., Shevtsov D. I. Effect of preannealing process on the surface roughness of ridge waveguides formed with wet etching of Z-cut LiNbO3. Ferroelectrics. 2016, vol. 496 (1), pp. 143–148. DOI: 10.1080/00150193.2016.1155399
Galutskiy V. V., Stroganova E. V. Patent N. 2402646. Rospatent, 2010.
Загрузки
Опубликован
Как цитировать
Выпуск
Раздел
Лицензия
Автор предоставляет Издателю журнала (Пермский государственный национальный исследовательский университет) право на использование его статьи в составе журнала, а также на включение текста аннотации, полного текста статьи и информации об авторах в систему «Российский индекс научного цитирования» (РИНЦ).
Автор даёт своё согласие на обработку персональных данных.
Право использования журнала в целом в соответствии с п. 7 ст. 1260 ГК РФ принадлежит Издателю журнала и действует бессрочно на территории Российской Федерации и за её пределами.
Авторское вознаграждение за предоставление автором Издателю указанных выше прав не выплачивается.
Автор включённой в журнал статьи сохраняет исключительное право на неё независимо от права Издателя на использование журнала в целом.
Направление автором статьи в журнал означает его согласие на использование статьи Издателем на указанных выше условиях, на включение статьи в систему РИНЦ, и свидетельствует, что он осведомлён об условиях её использования. В качестве такого согласия рассматривается также направляемая в редакцию справка об авторе, в том числе по электронной почте.
Редакция размещает полный текст статьи на сайте Пермского государственного национального исследовательского университета: http://www.psu.ru и в системе OJS на сайте http://press.psu.ru
Плата за публикацию рукописей не взимается. Гонорар за публикации не выплачивается. Авторский экземпляр высылается автору по указанному им адресу.
