Экспериментальное исследование показателей преломления тонкоплёночного ниобата лития, модифицированного методом протонного обмена
DOI:
https://doi.org/10.17072/1994-3598-2026-2-40-48Аннотация
Проведено исследование показателей преломления тонкоплёночного ниобата лития (ТНЛ), модифицированного протонным обменом. С целью исследования кинетики процесса протонного обмена варьировалось время процесса. В качестве основных экспериментальных методов исследования использовались метод призменного ввода излучения и метод реактивного ионного травления. Предложен метод определения изменения показателя преломления эпитаксиального слоя HxLi1-xNbO3, формирующегося на поверхности ТНЛ после протонного обмена. Метод основан на разделении вклада в средний показатель преломления доли HxLi1-xNbO3 и доли исходной плёнки. Основным предположением является то, что показатель преломления изменяется ступенчато. С помощью метода призменного ввода излучения были получены усреднённые по толщине необыкновенный и обыкновенный показатели преломления. Для разграничения слоев определялся профиль концентрации протонов при помощи профилирования скорости реактивного ионного травления по глубине. Форма концентрационных профилей отличается от профилей, снятых для объёмного НЛ. Из концентрационных профилей была получена глубина протонного обмена и коэффициент диффузии, который составил 0.031 мкм2/час, что меньше значений, характерных для объёмного ниобата лития. Было показано, что средние показатели преломления линейно изменяются со временем протонного обмена. В то же время показатели преломления эпитаксиального слоя остаются постоянными. Изменения необыкновенного и обыкновенного показателей преломления, обусловленные протонным обменом, составили 0.8 и –0.5, соответственно, что совпадает с типичными значениями для β-фаз объёмного ниобата лития.Загрузки
Опубликован
Выпуск
Раздел
Лицензия
Copyright (c) 2026 Вестник Пермского университета. Физика

Это произведение доступно по лицензии Creative Commons «Attribution» («Атрибуция») 4.0 Всемирная.
Автор предоставляет Издателю журнала (Пермский государственный национальный исследовательский университет) право на использование его статьи в составе журнала, а также на включение текста аннотации, полного текста статьи и информации об авторах в систему «Российский индекс научного цитирования» (РИНЦ).
Автор даёт своё согласие на обработку персональных данных.
Право использования журнала в целом в соответствии с п. 7 ст. 1260 ГК РФ принадлежит Издателю журнала и действует бессрочно на территории Российской Федерации и за её пределами.
Авторское вознаграждение за предоставление автором Издателю указанных выше прав не выплачивается.
Автор включённой в журнал статьи сохраняет исключительное право на неё независимо от права Издателя на использование журнала в целом.
Направление автором статьи в журнал означает его согласие на использование статьи Издателем на указанных выше условиях, на включение статьи в систему РИНЦ, и свидетельствует, что он осведомлён об условиях её использования. В качестве такого согласия рассматривается также направляемая в редакцию справка об авторе, в том числе по электронной почте.
Редакция размещает полный текст статьи на сайте Пермского государственного национального исследовательского университета: http://www.psu.ru и в системе OJS на сайте http://press.psu.ru
Плата за публикацию рукописей не взимается. Гонорар за публикации не выплачивается. Авторский экземпляр высылается автору по указанному им адресу.