Zhuravlev, Vladimir, Perm State University, Российская Федерация
-
Вестник Пермского университета. Физика № 1 (2024) - Статьи
Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
Аннотация PDF -
Вестник Пермского университета. Физика № 2 (2024) - Статьи
Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
Аннотация PDF