Перейти к основному контенту
Перейти к главному меню навигации
Перейти к нижнему колонтитулу сайта
Open Menu
Регистрация
Вход
Zhuravlev, Vladimir, Perm State University, Российская Федерация
Вестник Пермского университета. Физика № 1 (2024)
- Статьи
Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме
Аннотация
PDF
Язык
English
Русский