Козлов А, Салгаева У, Журавлев В, Волынцев А. Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вест. ПГУ Физика [Интернет]. 12 апрель 2024 г. [цитируется по 22 ноябрь 2024 г.];(1):56-71. доступно на: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/8816