Исследование потоков с низким числом Рейнольдса в микроканалах в процессе травления кварца. Вест. ПГУ Физика [Internet]. 2026 Oct. 26 [cited 2026 Nov. 3];(3):38-46. Available from: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/11654