Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов. Вест. ПГУ Физика [Internet]. 2025 Nov. 13 [cited 2026 Jul. 20];(3):61-8. Available from: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/10625