Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вест. ПГУ Физика [Internet]. 2024 Jul. 4 [cited 2026 Jul. 20];(2):33-55. Available from: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/9055