Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вест. ПГУ Физика [Internet]. 2024 Apr. 12 [cited 2026 Jul. 20];(1):56-71. Available from: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/8816