Особенности формирования тонких пленок алюминия под воздействием ультразвуковых колебаний подложки. Вест. ПГУ Физика [Internet]. 2023 Nov. 9 [cited 2026 Jul. 21];(3):05-8. Available from: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/8376