Влияние неоднородности температурного поля на перенос паров кремния от зеркала расплава к изделию в ходе высокотемпературного силицирования. Вест. ПГУ Физика [Internet]. 2023 Jul. 7 [cited 2026 Jul. 20];(2):51-8. Available from: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/7935