Козлов, Андрей, Ульяна Салгаева, Владимир Журавлев, и Анатолий Волынцев. «Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме». Вестник Пермского университета. Физика, no. 1 (апрель 12, 2024): 56–71. просмотрено май 17, 2024. https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/8816.