Козлов, Андрей, Ульяна Салгаева, Игорь Петухов, Владимир Журавлев, и Анатолий Волынцев. «Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме». Вестник Пермского университета. Физика, no. 2 (июль 4, 2024): 33–55. просмотрено ноябрь 21, 2024. https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/9055.