Зинченко, Тимур. «Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов». Вестник Пермского университета. Физика, no. 3 (ноябрь 13, 2025): 61–68. просмотрено февраль 7, 2026. https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/10625.