“Исследование потоков с низким числом Рейнольдса в микроканалах в процессе травления кварца”. Вестник Пермского университета. Физика, no. 3 (October 26, 2026): 38–46. Accessed November 3, 2026. https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/11654.