“Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов”. Вестник Пермского университета. Физика, no. 3 (November 13, 2025): 61–68. Accessed July 20, 2026. https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/10625.