“Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме”. Вестник Пермского университета. Физика, no. 2 (July 4, 2024): 33–55. Accessed July 21, 2026. https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/9055.