“Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме”. Вестник Пермского университета. Физика, no. 1 (April 12, 2024): 56–71. Accessed July 21, 2026. https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/8816.