Зинченко, Т. «Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов». Вестник Пермского университета. Физика, вып. 3, ноябрь 2025 г., сс. 61-68, doi:10.17072/1994-3598-2025-3-61-68.