“Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов”. Вестник Пермского университета. Физика, no. 3, Nov. 2025, pp. 61-68, https://doi.org/10.17072/1994-3598-2025-3-61-68.