“Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме”. Вестник Пермского университета. Физика, no. 2, July 2024, pp. 33-55, https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.