“Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме”. Вестник Пермского университета. Физика, no. 1, Apr. 2024, pp. 56-71, https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-56-71.