А. Козлов, У. Салгаева, В. Журавлев, и А. . Волынцев, «Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме», Вест. ПГУ Физика, вып. 1, сс. 56–71, апр. 2024.