[1]
“Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов”, Вест. ПГУ Физика, no. 3, pp. 61–68, Nov. 2025, doi: 10.17072/1994-3598-2025-3-61-68.