“Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме”, Вест. ПГУ Физика, no. 2, pp. 33–55, Jul. 2024, doi: 10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.