Козлов, А., Салгаева, У., Журавлев, В. и Волынцев, А. . (2024) «Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме», Вестник Пермского университета. Физика, (1), сс. 56–71. doi: 10.17072/1994-3598-2024-1-56-71.