Зинченко, Т. (2025) «Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов», Вестник Пермского университета. Физика, (3), сс. 61–68. doi: 10.17072/1994-3598-2025-3-61-68.