“Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме” (2024) Вестник Пермского университета. Физика, (2), pp. 33–55. doi:10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.