Козлов, Андрей, Ульяна Салгаева, Владимир Журавлев, и Анатолий Волынцев. 2024. «Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме». Вестник Пермского университета. Физика, вып. 1 (апрель):56-71. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-56-71.