“Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов”. 2025. Вестник Пермского университета. Физика, no. 3 (November): 61-68. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2025-3-61-68.