“Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме”. 2024. Вестник Пермского университета. Физика, no. 2 (July): 33-55. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.