“Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме”. 2024. Вестник Пермского университета. Физика, no. 1 (April): 56-71. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-56-71.