КОЗЛОВ, А.; САЛГАЕВА, У.; ПЕТУХОВ, И.; ЖУРАВЛЕВ, В.; ВОЛЫНЦЕВ, А. Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вестник Пермского университета. Физика, [S. l.], n. 2, p. 33–55, 2024. DOI: 10.17072/1994-3598-2024-1-33-55. Disponível em: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/9055. Acesso em: 21 ноя. 2024.