КОЗЛОВ, А.; САЛГАЕВА, У.; ЖУРАВЛЕВ, В.; ВОЛЫНЦЕВ, А. . Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вестник Пермского университета. Физика, [S. l.], n. 1, p. 56–71, 2024. DOI: 10.17072/1994-3598-2024-1-56-71. Disponível em: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/8816. Acesso em: 22 ноя. 2024.