УРАЗБЕКОВ, А.; САХАРОВ , Ю. Особенности формирования тонких пленок алюминия под воздействием ультразвуковых колебаний подложки. Вестник Пермского университета. Физика, [S. l.], n. 3, p. 05–08, 2023. DOI: 10.17072/1994-3598-2023-3-05-08. Disponível em: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/8376. Acesso em: 4 дек. 2024.