ЗИНЧЕНКО, Т. Исследование влияния газодинамических параметров распыления на качество тонких пленок прозрачных проводящих оксидов. Вестник Пермского университета. Физика, [S. l.], n. 3, p. 61–68, 2025. DOI: 10.17072/1994-3598-2025-3-61-68. Disponível em: https://press.psu.ru/index.php/phys/article/view/10625. Acesso em: 7 фев. 2026.