Козлов, А., Салгаева, У., Журавлев, В., & Волынцев, А. . (2024). Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вестник Пермского университета. Физика, (1), 56–71. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-56-71