Влияние неоднородности температурного поля на перенос паров кремния от зеркала расплава к изделию в ходе высокотемпературного силицирования. (2023). Вестник Пермского университета. Физика, 2, 51-58. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-2-51-58