Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вест. ПГУ Физика. 2024;(2):33-55. doi:10.17072/1994-3598-2024-1-33-55