Козлов, А.; Салгаева, У.; Петухов, И.; Журавлев, В.; Волынцев, А. Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вест. ПГУ Физика 2024, 33-55.