Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вест. ПГУ Физика 2024, No. 2, 33-55. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.