(1)
Влияние неоднородности температурного поля на перенос паров кремния от зеркала расплава к изделию в ходе высокотемпературного силицирования. Вест. ПГУ Физика 2023, No. 2, 51-58. https://doi.org/10.17072/1994-3598-2023-2-51-58.