Козлов, А., Салгаева, У., Петухов, И., Журавлев, В. и Волынцев, А. 2024. Исследование процесса вторичной конденсации LiF в ходе реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вестник Пермского университета. Физика. 2 (июл. 2024), 33–55. DOI:https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-33-55.