Козлов, А., Салгаева, У., Журавлев, В. и Волынцев, А. 2024. Исследование кинетики реактивного ионного травления тонкопленочного ниобата лития во фторсодержащей плазме. Вестник Пермского университета. Физика. 1 (апр. 2024), 56–71. DOI:https://doi.org/10.17072/1994-3598-2024-1-56-71.